Ngành công nghiệp vi điện tử

Đầu tiên, đặc điểm của nước thải công nghiệp điện tử

Thành phần phức tạp: nước thải công nghiệp điện tử chủ yếu từ quá trình khắc, làm sạch, tráng, tách và các quá trình khác của bảng mạch, chứa các ion kim loại nặng (như đồng, niken, chì, cadmium, crom, v.v.), florua, amoniac và nitơ, dung môi hữu cơ (như rượu, xeton, hydrocarbon halogen hóa, v.v.), chất hoạt động bề mặt, cũng như axit và kiềm có nồng độ cao và các chất gây ô nhiễm khác, thành phần của độ phức tạp và nồng độ khác nhau.

Độc hại và có hại: nhiều ion kim loại nặng và các chất ô nhiễm hữu cơ trong nước thải công nghiệp điện tử là bền, tích tụ sinh học và độc hại; nếu không được xử lý đúng cách và thải trực tiếp, chúng sẽ gây hại nghiêm trọng đến môi trường sinh thái và sức khỏe con người.

Biến động giá trị pH: Quy trình sản xuất của ngành công nghiệp điện tử sử dụng nhiều hóa chất axit và kiềm hơn, dẫn đến giá trị pH của nước thải thay đổi rất nhiều, khiến việc xử lý nước thải trở nên khó khăn hơn một chút.

Thứ hai, quy trình xử lý nước thải của ngành công nghiệp điện tử

Xử lý lý hóa: Đầu tiên, thông qua lưới, kết tủa, tuyển nổi khí và các cách khác để loại bỏ chất rắn lơ lửng và các hạt lớn trong nước thải. Đối với các ion kim loại nặng, thường sử dụng phương pháp kết tủa hóa học hoặc trao đổi ion, chẳng hạn như thêm chất kết tủa để tạo thành hydroxit kim loại nặng hoặc kết tủa sunfua hoặc sử dụng nhựa trao đổi ion hấp phụ các ion kim loại nặng. Nước thải axit và kiềm được điều chỉnh đến giá trị pH bằng phương pháp trung hòa.

Xử lý sinh học: Các công nghệ xử lý sinh học, chẳng hạn như bùn hoạt tính và oxy hóa tiếp xúc sinh học, có thể phân hủy chất hữu cơ bằng quá trình chuyển hóa của vi khuẩn trong nước thải có chứa chất ô nhiễm hữu cơ.

Công nghệ oxy hóa tiên tiến: Đối với một số chất ô nhiễm hữu cơ khó phân hủy sinh học, công nghệ oxy hóa tiên tiến như oxy hóa Fenton, oxy hóa ozone, oxy hóa điện hóa, v.v. có thể được sử dụng để chuyển đổi các chất ô nhiễm hữu cơ thành các phân tử nhỏ ít độc hại hoặc không độc hại và cải thiện sinh hóa của nước thải.
Công nghệ tách màng: Siêu lọc, thẩm thấu ngược, lọc nano và các công nghệ tách màng khác có thể loại bỏ hiệu quả các hạt nhỏ, keo và chất hữu cơ hòa tan khỏi nước thải để đạt được quá trình thanh lọc sâu.
Thu hồi tài nguyên và sử dụng toàn diện: Do ngành công nghiệp điện tử, một số nước thải có chứa các kim loại quý, chẳng hạn như đồng, vàng, bạc, v.v. Có thể sử dụng phương pháp điện phân, chiết xuất, hấp phụ và các phương pháp khác để thu hồi và sử dụng các nguồn tài nguyên có giá trị này.

Quy trình xử lý
Hệ thống nước siêu tinh khiết bán dẫn
Tiêu chuẩn:

• Hiệp hội quốc tế về thiết bị và vật liệu bán dẫn (International Association of Semiconductor Equipment and Materials, SEMl), phiên bản mới nhất của tiêu chuẩn SEMIF63-0918
• Lộ trình công nghệ quốc tế cho chất bán dẫn (ITRS). Phiên bản mới nhất của tiêu chuẩn này là ITRS 2015
• Hiệp hội thử nghiệm vật liệu Hoa Kỳ (ASTM), phiên bản mới nhất của tiêu chuẩn này là ASTM D5127-13(2018).

CÔNG NGHỆ CỐT LÕI

Quy trình Dòng chảy

Đặc điểm quy trình

1. Hệ thống xử lý sơ bộ cải tiến: hiện thực hóa hệ thống xử lý sơ bộ tiêu thụ hóa chất thấp;
2. Hệ thống EDI đặc biệt: thực hiện mức tiêu thụ hóa chất rất thấp và sản xuất nước silica-boron cấp PPT cực cao;
3. Hệ thống nhựa loại bỏ silicon-bo đặc biệt: đáp ứng yêu cầu về nước siêu tinh khiết cấp 1-5PPT;
4. Hệ thống kiểm tra liên tục: thực hiện giám sát chất lượng nước của hệ thống theo thời gian thực;
5. BIM: cho phép thiết kế và hình ảnh hóa quá trình thi công để đạt được hiệu quả triển khai hiệu quả của công trình;
6. Thiết kế thông minh: Thiết kế mô-đun thông minh, thiết lập trung tâm dữ liệu đám mây, cho phép vận hành không cần giám sát, cảnh báo sớm và bảo trì phòng ngừa.

Hệ thống nước thải bán dẫn

CÔNG NGHỆ CỐT LÕI

Quy trình Dòng chảy

Đặc điểm quy trình

1. Hệ thống phân loại và tái chế chất lượng tiên tiến: Thực hiện phân loại nước thải có tính axit và kiềm/hữu cơ/vô cơ có thể tái chế và thực hiện hệ thống không xả nước thải tại các khu vực có nhu cầu cao;
2. Hệ thống định lượng thông minh: thực hiện định lượng chính xác, chống va đập, định lượng chính xác để dự đoán xu hướng thay đổi, giảm số lượng hóa chất và bùn, ổn định chất lượng nước sản xuất;
3. Hệ thống khử fluor đặc biệt: đáp ứng yêu cầu chất lượng nước thải ở mức 1-3ppm và tiết kiệm 30% chi phí vận hành;
4. BIM: cho phép thiết kế và hình ảnh hóa quá trình thi công để đạt được hiệu quả triển khai hiệu quả của công trình;
5. Thu hồi kim loại có giá trị cao: màng nâng đặc biệt và nhựa tạo phức để thu hồi kim loại có giá trị cao trong nước thải;
6. Hệ thống tái chế nước thải nghiền: Thực hiện tái chế 90% nước thải BG/DS/CMP và thực hiện hệ thống tái chế nước thải siêu cao cấp.
7. Hệ thống cô đặc cao: là hệ thống cô đặc trước của máy bay hơi, hàm lượng muối trong nước cô đặc có thể lên tới 10%-18%, giúp giảm chi phí đầu tư và vận hành máy bay hơi;
8. Thu hồi tài nguyên: thu hồi muối cấp công nghiệp, xử lý màng nhiều giai đoạn, thực hiện mục tiêu không xả nước thải;
9. Thiết kế thông minh: thiết kế mô-đun thông minh, hình thành trung tâm dữ liệu đám mây để đạt được cảnh báo sớm không cần giám sát và bảo trì phòng ngừa.

Hồ sơ dự án:
Xxx Semiconductor Limited (Bao bì tiên tiến, Xả điện bằng không + Nước siêu tinh khiết)
Hồ sơ khách hàng: Với hệ thống và tiêu chuẩn sản xuất chip đầu cuối IC, chúng tôi cam kết cung cấp dịch vụ sản xuất và thử nghiệm wafer tầm trung chất lượng cao và phát triển hơn nữa hoạt động kinh doanh chip tích hợp hệ thống 3D tiên tiến để phục vụ khách hàng toàn cầu.

Hồ sơ dự án: Bao gồm hệ thống xử lý nước thải nitơ và phốt pho phát sinh trong quá trình sản xuất, xử lý nước thải mạ điện và nước thải sau xử lý, tất cả đều quay trở lại quá trình chuẩn bị hệ thống nước tinh khiết nitơ và phốt pho nước thô và hệ thống nước siêu tinh khiết. Đã hoàn thành việc xây dựng một số bộ nước siêu tinh khiết, nguồn cung cấp nước và chất lượng nước một khi đạt tiêu chuẩn.

Các chỉ số nước: điện trở suất ≥ 18,2MΩ-cm, TOC ≤ 10ppb

Quy trình chính:
Xử lý sơ bộ + sinh hóa + MBR + tách màng nhiều giai đoạn + kết tinh bay hơi (xả điện bằng không)
Xử lý sơ bộ + RO hai giai đoạn + EDI + xử lý mịn đánh bóng + lọc đầu cuối (nước siêu tinh khiết)