Chất lượng của UPW rất quan trọng trong việc cải thiện năng suất bán dẫn, nước siêu tinh khiết ASTM D5127-13 (2018) về yêu cầu boron: Loại E-1/ E-1.1/ E-1.2/ E-1.3: 300ppt/100ppt/50ppt/50ppt; xu hướng tương lai của nước siêu tinh khiết trên nhu cầu boron 1ppt; quy trình loại bỏ boron đặc biệt sử dụng loại bỏ cao Quy trình loại bỏ boron đặc biệt sử dụng mô-đun khử boron silica cao và hệ thống nhựa loại bỏ boron, có thể thực hiện loại bỏ boron hiệu quả;
| Đặc trưng | Quá trình trao đổi ion | Quy trình loại bỏ Bo đặc biệt |
| Hiệu quả xử lý | cao | cao hơn |
| Chi phí đầu tư | ở giữa | ở giữa |
| Chi phí hoạt động | nhiều | một vài |
| Sử dụng hóa chất | nhiều | Không sử dụng |
| Mức độ tự động hóa | Thấp | cao |
| Tác động môi trường | cao | Rất thấp |
